| 摘要 |
<p>본 발명의 반도체 소자 검사 장치는 제1 주파수의 테스트 신호를 주파수 체배부에 입력하는 자동 테스트 설비부와, 상기 주파수 체배부에서 주파수가 체배되어 제2 주파수의 테스트 신호가 입력되고 반도체 소자가 위치하는 피검사부와, 상기 피검사부의 상기 반도체 소자에서 출력되는 제2 주파수의 테스트 결과 신호와 상기 주파수 체배부를 통해 제2 주파수의 테스트 신호가 입력되고, 상기 테스트 결과 신호와 상기 테스트 신호를 비교하여 상기 제1 주파수로 고 레벨 및 저 레벨의 테스트 판정 신호를 출력하는 제1 비교기와, 상기 피검사부의 반도체 소자에서 출력되는 제2 주파수의 테스트 결과 신호와 상기 주파수 체배부를 통해 제2 주파수의 테스트 신호가 입력되고, 위상 선택기를 포함하여 상기 테스트 결과 신호와 상기 테스트 신호간의 위상을 비교하여 상기 제1 주파수의 테스트 판정 신호를 출력하는 제2 비교기와, 및 상기 자동 테스트 설비부로부터의 선택 신호에 따라 상기 제1 비교기 및 제2 비교기중 어느 하나를 선택하는 선택기를 포함한다.</p> |
