SUBSTRATE HOLDING DEVICE, EXPOSURE APPARATUS HAVING SAME, EXPOSURE METHOD, METHOD FOR PRODUCING DEVICE, AND LIQUID REPELLENT PLATE

摘要

기판 홀더 (PH) 는, 기재 (PHB) 와, 기재 (PHB) 에 형성되고 또한 기판 (P) 을 흡착 유지하는 제 1 유지부 (PH1) 와, 기재 (PHB) 에 형성되고 또한 제 1 유지부 (PH1) 에 흡착 유지된 기판 (P) 의 근방에 플레이트 부재 (T) 를 흡착 유지하는 제 2 유지부 (PH2) 를 구비하고 있다. 기판 홀더 (PH) 를 구비하는 노광 장치는, 플레이트의 교환이 용이하고, 메인터넌스가 용이하다. 따라서, 액침 노광에 적합하다.