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<p>Anordnung zur Einkopplung von Hochfrequenz-Leistung zur Plasmaanregung für die Kathodenzerstäubung auf ein rotierendes, rohrförmiges Beschichtungstarget, dadurch gekennzeichnet, dass eine nicht rotierende, kreissegmentförmige, linear ausgedehnte Einkoppelelektrode mit Hochfrequenz beaufschlagt wird, die außerhalb des Beschichtungsbereiches in einem geringen Abstand zum Beschichtungstarget angeordnet wird, so dass die Einkoppelelektrode mit der Targetoberfläche eine elektrische Koppelkapazität bildet, über die die Hochfrequenzleistung auf die Rohrelektrode übertragen wird.</p> |
