| 摘要 |
복합 센서(11)에서는, 열 화상 센서(16)의 배열 영역 R1과 거리 화상 센서(31)의 배열 영역 R2가 적층 방향에서 보았을 때 겹치도록 배치되어 있다. 이 때문에, 열 화상과 거리 화상을 동축에서 취득하는 것이 가능해져, 열 화상과 거리 화상 사이의 화상 불일치를 억제할 수 있다. 추가로, 복합 센서(11)에서는, 제1 기판(13)과 제2 기판(14)의 적층에 의해서 형성되는 밀봉체 S1에 의해서 열 화상 센서(16)의 주위의 공간이 진공 상태로 밀봉되어 있다. 이것에 의해, 거리 화상 센서(31)의 주위에서 발생하는 열이 열 화상 센서(16) 측에 영향을 미치는 것을 방지할 수 있다. 이것에 더하여, 열 화상 센서(16)를 배열하는 기판과 거리 화상 센서(31)를 배열하는 기판이 별체로 되어 있으므로, 설계의 자유도를 확보할 수 있다. |
