| 主权项 |
一种最佳化一微影程序之方法，其包含：进行具有至少一第一变数之一第一制造步骤，该第一制造步骤导致一第一中间特征；量测该第一中间特征之一第一特性；进行具有至少一第二变数之一第二制造步骤，该第二制造步骤导致一第二中间特征；量测该第二中间特征之一第二特性；利用基于该等第一变数之至少一者及该等第二变数之至少一者以及该第一特性及该第二特性中之至少一者的一模型来模型化一最终特征之一最终特性；量测该最终特性；藉由以基于该第一及第二制造步骤之一模型估计针对该第一及第二制造步骤之干扰(disturbance)来比较该经模型化之最终特性与该经量测之最终特性，其中该估计系以卡尔曼滤波器来进行；更新该模型；修改该第一变数及该第二变数中之至少一者以最佳化该最终特性；及使用第一变数及第二变数中之该经修改之至少一者来进行该第一制造步骤及该第二制造步骤。
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