磁控溅镀枪装置

主权项

一种磁控溅镀枪装置，系包括：一磁铁铜座，具有一外围磁铁区、一中心磁铁区、及一设置于该外围磁铁区与该中心磁铁区之间之中空凹槽；一磁性元件，系以可拆卸式设置于该外围磁铁区与该中心磁铁区；一导体元件，系以可拆卸式设置于该中空凹槽；一溅镀靶材，系设置于该磁铁铜座之上方；一靶材固定组件，系包覆该磁铁铜座并固定该溅镀靶材；以及一圆筒状护罩，系包覆该靶材固定组件。