| 主权项 |
一种电浆供给单元，其系包含：电浆腔室，其系形成有供给来源气体的放电空间；电力施加部，其系朝前述放电空间施加高频电力以使前述来源气体放电；及流入导管，其系与前述放电空间连结，且具有供前述已放电之来源气体流入的流入空间；其中，形成前述放电空间之前述电浆腔室的内侧壁系以第1材质形成，其中，前述流入空间包含：流入口，其系与前述放电空间连结，使前述电浆从前述放电空间流入，以及逆漏斗状的扩散空间，其系与前述流入口连结，使由前述流入口所供给的前述电浆扩散；其中，形成前述流入空间之前述流入导管的内侧壁系以与前述第1材质相异的第2材质形成；其中，前述流入空间之前述流入口的内侧壁系以第2材质形成；前述第1材质为三氧化二铝，前述第2材质为二氧化矽。
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