发明名称 光波导与耦合器装置和方法以及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI480605 申请公布日期 2015.04.11
申请号 TW099141939 申请日期 2010.12.02
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 池晧哲;金奇南;邢庸宇;罗敬远;河镜虎;朴允童;裵大录;卜镇权;姜泌圭;徐成东;金圣九;申东宰;赵寅成
分类号 G02B6/12;G02B6/13;G02B6/42 主分类号 G02B6/12
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种光学装置,其包括:渠沟,其形成于半导体基板中且具有实质上平坦的底表面;第一包覆层,其安置于所述渠沟中,具有平坦的顶表面,所述顶表面由所述渠沟的一侧壁整个延伸至相对侧壁;以及至少一个核心区域,其仅安置于所述第一包覆层的一部分上方。
地址 南韩