发明名称 用于锡及锡合金之无电电镀之方法
摘要
申请公布号 TWI480421 申请公布日期 2015.04.11
申请号 TW099128310 申请日期 2010.08.24
申请人 德国艾托特克公司 发明人 奇连 亚德;威吉莱特 贞斯;伊萨孔恩 依莎贝尔 萝达;史瑞儿 汉斯 乔真
分类号 C23C18/54 主分类号 C23C18/54
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种用于锡及锡合金之无电电镀之方法,其包括以下步骤:(i)提供具有铜接点衬垫及可使该等铜接点衬垫暴露出来之阻焊罩层之基板;(ii)藉由无电电镀直接于该等铜接点衬垫上沈积牺牲铜层;继而(iii)以镀锡组合物藉由无电电镀于步骤(ii)中所沈积之该牺牲铜层上沈积锡或锡合金;其中步骤(ii)中所沈积之该牺牲铜层在步骤(iii)之锡或锡合金层之沈积期间完全溶解。
地址 德国