最佳终点演算法的建构方法

主权项

一种自动辨识一最佳终点演算法之方法，其用以监定在一电浆处理系统中处理基板的期间之一制程终点，包含：在该电浆处理系统中处理至少一个基板的期间，从数个感测器接收感测器资料，其中该感测器资料包括从数个感测器管道而来的数个信号流，该感测器资料系从多于一个的基板蒐集而来；辨识一终点域，其中该终点域为预计会发生该制程终点的一概略期间；分析该感测器资料以产生一组可能终点特征记号；转化该组可能终点特征记号成为一组最佳终点演算法；以及引入该组最佳终点演算法的一最佳终点法至生产环境中，其中该感测器资料之该分析包括对该感测器资料执行线性配适，以将从该数个信号流而来的各信号流基于时间区间分成数个片段。