发明名称 感光性树脂组成物、以及使用其所成之感光性元件、光阻图型之形成方法及印刷电路板之制造方法
摘要
申请公布号 TWI480696 申请公布日期 2015.04.11
申请号 TW099106333 申请日期 2010.03.04
申请人 日立化成股份有限公司 发明人 味冈芳树;石充;矶纯一;薄叶爱美
分类号 G03F7/028;C07D219/02;H01L21/027;H05K3/06 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种感光性树脂组成物,其系含有(A)黏合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键结之光聚合性化合物及(C)光聚合起始剂之感光性树脂组成物,其特征为前述(C)光聚合起始剂含有下述一般式(1)所表示之化合物, 〔式(1)中,R1表示卤素原子、胺基、羧基、碳数1~6之烷基、碳数1~6之烷氧基或碳数1~6之烷胺基,m表示1~5之整数;另外,m为2以上时,复数存在之R1可为相同亦可为相异〕。
地址 日本