具有最佳调整可能性之投影曝光装置

主权项

一种微影之投影装置，包含：一物镜，用以成像一物场；至少一个或复数个操控器，用以操控该物镜之至少一个或复数个光学元件；一控制单元，用以控制该至少一个或复数个操控器，特征在于：该控制单元包含：一第一装置，藉由解出一逆问题，以决定该至少一个或复数个操控器之一移动；一第二装置，用于该逆问题之数值稳定，其中该数值稳定为一SVD稳定及/或具有权重γ之一特克洛夫稳定、一L曲线方法、及/或一cg稳定及/或一先决条件作用。