照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法

主权项

一种照明光学系统，以来自光源的光而对被照射面进行照明，其特征在于包括：分布形成光学系统，包括光学积分器，且利用经由该光学积分器的光，在照明光瞳形成光瞳强度分布；以及可变部，可相对于与到达上述被照射面上的第1点的光束相关的第1光瞳强度分布，来使与达到上述被照射面上的不同于上述第1点的第2点的光束相关的第2光瞳强度分布为可变，其中上述可变部配置在上述分布形成光学系统与上述被照射面之间。