复合透明氧化物薄膜及其制造方法

主权项

一种复合透明氧化物薄膜之制造方法，包含：在一基板上沉积一透明导电氧化物薄膜(Transparent Conductive Oxide,TCO)；在该透明导电氧化物薄膜的上或下沉积一缺氧氧化物薄膜(Anoxic oxide film)，该缺氧氧化物薄膜的含氧量系氧化物化学计量的65%~99.9%；以及对该缺氧氧化物薄膜、该透明导电氧化物薄膜以及该基板进行热处理程序，以形成一复合透明氧化物薄膜，其中该缺氧氧化物薄膜是由氧化矽、氧化钛、氧化铝、氧化锂、氧化钾、氧化钠、氧化钡、氧化锶、氧化钙及氧化镁的其中之一或数个组成之族群所构成。