氧化矽玻璃坩埚的评价方法、单晶矽的制造方法

主权项

一种氧化矽玻璃坩埚的评价方法，包括以下制程：使内部测距部非接触地沿着氧化矽玻璃坩埚的内表面移动，在移动路径上的多个测量点，通过从内部测距部对所述坩埚的内表面倾斜方向照射镭射，并检测来自所述内表面的内表面反射光，来测量内部测距部与所述内表面之间的内表面距离，通过将各测量点的三维座标与所述内表面距离建立关联，求出所述坩埚的内表面三维形状。