制造复数光学装置的方法

主权项

一种藉着晶圆规模制程制造复数积体光学装置之方法，其系制成包括至少一光学晶圆之晶圆堆叠的方法，该藉着晶圆规模制程制造复数积体光学装置之方法包括以下步骤：提供第一及第二晶圆与一间隔件装置；将该第一晶圆及该间隔件装置之第一侧面组装在一起，且一可固化之黏接剂的第一部份位于该第一晶圆及该间隔件装置之间；将该第二晶圆及该间隔件装置之第二侧面组装在一起，且一可固化之黏接剂的第二部份位于该第二晶圆及该间隔件装置之间；将该第一晶圆和该第二晶圆彼此对齐；然后将包含该第一晶圆、该第二晶圆、和该间隔件装置的组件传送至一分开固化架台，且在传送期间没有施加压按或固持或夹住力至该组件以固定该组件；及在该分开固化架台中同时固化该可固化之黏接剂的第一与第二部份。