| 发明名称 | 半导体装置之检测图案设计及其利用方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI480543 | 申请公布日期 | 2015.04.11 |
| 申请号 | TW102106043 | 申请日期 | 2013.02.21 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 庄严;洪哲伦;李筱玲 |
| 分类号 | G01N23/225 | 主分类号 | G01N23/225 |
| 代理机构 | 代理人 | 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼 | |
| 主权项 | 一种侦测一半导体装置之方法，包括：提供具有复数个线路图案之该半导体装置，该些线路图案设置于一基板上，该些线路图案系藉由一互连线路图案连接；暴露该些线路图案至一反应刺激；以及测量该些线路图案至该反应刺激之一反应，其中该些线路图案之该反应指出一表面缺陷、一内部缺陷及其任何组合。 | ||
| 地址 | 新竹县科学工业园区力行路16号 | ||