三甲基矽烷之纯化方法

主权项

一种三甲基矽烷之纯化方法，其包括以下步骤：(1)准备至少添附有氧化铜(II)及氧化锌之活性碳；(2)以成为惰性气体：三甲基矽烷=0.5：1~100：1之体积比之方式，用惰性气体稀释三甲基矽烷，并使该经稀释之三甲基矽烷吸附于上述活性碳上；(3)使含有矽烷、甲基矽烷、或二甲基矽烷作为杂质之三甲基矽烷接触上述(2)之步骤结束后之活性碳，使该杂质吸附于上述活性碳上而自三甲基矽烷中除去。