基板处理方法及基板处理装置

主权项

一种基板处理方法，其特征在于包括：准备步骤，其系以液体之过冷却状态准备供给至基板之凝固对象液；凝固体形成步骤，其系将藉由上述准备步骤而准备之上述凝固对象液经由空间供给至上述基板，于上述基板上形成上述凝固对象液之凝固体；及去除步骤，其系去除上述基板上之上述凝固对象液之凝固体；上述凝固对象液系于上述凝固体形成步骤中，藉由与上述基板表面触液之冲击及自上述基板传递之振动中之至少一者之外部刺激而凝固。