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<p>회전할 수 있도록 지탱되는 물체의 회전 각도 위치를 판정하기 위한 위치 탐지기로서, 광 빔을 생성하기 위한 광원, 회절 격자, 거울의 회전 중에 광 빔이 그로부터 반사되어 회절 격자로 향하고 회절 격자를 통과하여 회절 광을 생성하도록 하는 방식으로 함께 회전하는 방식으로 상기 물체와 연결되는 거울, 상기 회절 광의 상이한 회절 차수들이 간섭하도록 할 수 있어서 간섭 패턴을 생성하도록 구성되는 간섭 장치, 반사된 광 빔이 회절 격자를 통과함에 의해서 발생되는 간섭 패턴의 밝기 곡선이 그에 의하여 탐지될 수 있는 광 탐지기, 및 밝기 곡선에 기초하여 물체의 회전 각도 위치가 그에 의하여 판정될 수 있는 평가 유닛을 포함하는, 위치 탐지기.</p> |
