| 摘要 |
<p>(과제) 종래의 필름 기재, 투명 도전체층, 금속층을 구비한 도전성 필름 롤은 인접하는 금속층이 압착되기 쉽다. (해결 수단) 본 발명의 도전성 필름 롤 (34) 의 제조 방법은 다음의 공정을 포함한다. (a) 필름 기재 (13) 가 권회되어 이루어지는 제 1 롤 (12) 을 준비하는 공정 (b) 제 1 롤 (12) 로부터 필름 기재 (13) 를 되감고, 필름 기재 (13) 의 제 1 면에 제 1 투명 도전체층 (29) 을 성막하는 공정 (c) 제 1 투명 도전체층 (29) 상에 제 1 금속층 (30) 을 성막하는 공정 (d) 제 1 금속층 (30) 의 표면에 금속 산화막층 (31) 을 형성하는 공정 (e) 필름 기재 (13) 의 제 2 면에 제 2 투명 도전체층 (32) 을 성막하는 공정. (f) 제 2 투명 도전체층 (32) 상에 제 2 금속층 (33) 을 성막하는 공정 (g) 전체 성막 공정이 완료된 필름 기재 (13) 를 롤상으로 권회하는 공정 상기 모든 공정은 성막 장치 (10) 내에서 연속적으로 실시된다.</p> |
