| 摘要 |
<p>기판을 그 전역에서 휘지 않고 지지할 수 있고, 또, 간소하고 저가로 제작 가능한 기판 지지 장치를 제공한다. 기판의 가장자리부(P1)를 따라서 설치되는 것과 함께, 이 기판의 가장자리부(P1)를 끼워서 기판을 지지하는 토글 클램프(30)를 구비한 기판 지지 장치(1)이다. 토글 클램프(30)는 기판(P)의 중심(P2)을 기준으로 하여 대향하거나 방사상으로 배치되고, 각 대향 부위에서는 기판(P)을 상반되는 방향으로 끌어당기면서 기판(P)을 끼우는 것을 특징으로 한다.</p> |
