Silicon wafer of mixed structure using wet etching process and preparing thereof

摘要

본 발명은 습식에칭법을 이용한 실리콘 웨이퍼 복합구조 및 이의 제조방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 습식에칭으로 피라미드 패턴이 형성된 방향성을 갖는 실리콘 웨이퍼에 있어서, 상기 피라미드 패턴 상에 실리콘의 결정방향에 따라 나노와이어가 형성되는 것을 특징으로 하는 습식에칭법을 이용한 피라미드 및 나노와이어 실리콘 웨이퍼 복합구조를 제공한다.