| 摘要 |
Способ измерения характеристик микрозеркала, включающий считывание выходных данных с позиционно-чувствительного устройства, на которое падает генерируемый световой луч, отраженный от микрозеркала, по которым определяется отклонение микрозеркала в двух осях, отличающийся тем, что луч света, излучаемый лазером и проходящий через диафрагму, отражается на матрицу фотоаппарата, расположенную на расстоянии, где l - половина ширины матрицы фотоаппарата, α - приближение предельного угла отклонения микрозеркала, так, чтобы в крайних положениях микрозеркала происходило падение светового пучка на края матрицы, получив изображение с которой рассчитываются предельные углы отклонения микрозеркала αи α:,,где W- ширина кадра, h- высота кадра. (A_x, A_y) - координаты точки A в декартовой системе координат, (B_x, B_y) - координаты точки B в декартовой системе координат, L - расстояние от микрозеркала до матрицы. |
