Zoombares Strahlaufweitungssystem für einen grünen Laser und Laserbearbeitungsvorrichtung

摘要

Durch die vorliegende Erfindung wird ein zoombares Strahlaufweitungssystem für einen grünen Laser bereitgestellt, das im Fachgebiet der Laserbearbeitung anwendbar ist und eine erste Linse, eine zweite Linse und eine dritte Linse (L1, L2, L3) aufweist. Die erste Linse und die dritte Linse (L1, L3) sind plankonvexe Sammellinsen, und die zweite Linse (L2) ist ein Meniskus-Zerstreuungslinse. Die erste Linse, die zweite Linse und die dritte Linse (L1, L2, L3) haben eine erste Fläche und eine zweite Fläche (S1, S2), eine dritte Fläche und eine vierte Fläche (S3, S4) bzw. eine fünfte Fläche und eine sechste Fläche (S5, S6). Die Krümmungsradien der ersten bis sechsten Flächen (S1, S2, S3, S4, S5, S6) betragen ∞, –29,8, 7,2, 1,6, ∞, –100 mm. Die Mittendicken der ersten bis dritten Linsen (L1, L2, L3) betragen 2, 1, 4 mm. Die Außendurchmesser der ersten bis dritten Linsen (L1, L2, L3) betragen 10, 3, 34 mm. Die Verhältnisse zwischen den Brechungsindizes und den Abbe'schen Zahlen der ersten bis dritten Linsen (L1, L2, L3) betragen 1,8:25, 1,48:68 bzw. 1,8:25. Ein Abstand (d2) zwischen der zweiten Fläche und der dritten Fläche (S2, S3) beträgt 8–28 mm. Ein Abstand (d4) zwischen der vierten Fläche und der fünften Fläche (S4, S5) beträgt 107–115 mm, wobei eine Toleranz jeweils 5% beträgt. Durch das System kann eine 2- bis 16-fache Strahlaufweitung für eintretendes Licht erzielt werden, so dass es für Laservorrichtungen mit verschiedenen Austrittsdurchmessern und Divergenzwinkeln geeignet ist, und die Effizienz und Genauigkeit der Laserbearbeitung verbessert werden.