| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperelementen (40), insbesondere Trägerelementen zum Aufnehmen von elektrisch leitfähigen Komponenten. Das Verfahren umfasst mindestens die Schritte: Bereitstellen eines Festkörpers (2) zum Abspalten mindestens einer Festkörperschicht (4), Erzeugen einer ersten Gruppe von Defekten mittels eines Lasers (18) zum Vorgeben einer ersten Ablöseebene (8), entlang der die Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) abgetrennt wird, Erzeugen einer zweiten Gruppe von Defekten mittels des Lasers (18) zum Vorgeben von mindestens einer zweiten Ablöseebene (50), wobei die erste Ablöseebene (8) und die zweite Ablöseebene (8) zueinander orthogonal ausgerichtet sind, Ablösen der Festkörperschicht (4) vom Festkörper (2) entlang der ersten Ablöseebene (8) infolge einer Erzeugung von Spannungen in dem Festkörper (2) und Teilen der Festkörperschicht (4) entlang der zweiten Ablöseebene (50) zum Vereinzeln der Festkörperelemente (40). |
