| 摘要 |
<p>Verfahren zur Herstellung optischer oder elektronischer Funktionselemente, umfassend die folgenden Schritte: – Bereitstellen eines Grundkörpers (10) für das herzustellende Funktionselement, – Aufbringen einer ein Suboxid-Material umfassenden Spannungsschicht (12) auf einer ersten Oberfläche des Grundkörpers, sodass die Spannungsschicht (12) in Spannungskräfte übertragender Weise mit dem Grundkörper (10) verbunden ist, – Durchführen eines Schrittes der Nachbehandlung der Spannungsschicht (12), der eine räumlich inhomogene Erhöhung des Oxidationsgrades des Suboxid-Materials umfasst, sodass die Schichtspannung der Spannungsschicht (12) verändert wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (10) entsprechend der Schichtspannung der Spannungsschicht (12) verformt wird, sodass die resultierenden Funktionselemente eine gekrümmte Oberfläche aufweisen, und dass weiter ein Schritt der Nachbehandlung des Grundkörpers (10) durchgeführt wird, bei dem der Grundkörper (10) bis zum Erreichen seiner plastischen Verformungstemperatur erhitzt wird.</p> |
