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<p>Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas mit zylindrischer Symmetrie in einer Arbeitsgasumgebung, die Folgendes aufweist: a) erste Elektrodenmittel, wobei die Form der ersten Elektrodenmittel ausgewählt ist aus der Gruppe, die aus Zylindern und konischen Kegelstümpfen besteht, wobei die ersten Elektrodenmittel eine Oberfläche haben; b) Mittel für das Erzeugen eines nicht ausbalancierten Magnetfeldes benachbart zu den ersten Elektrodenmitteln, wobei die Mittel für das Erzeugen eine übermäßige Magnetpolstärke einer Polarität vorsehen, wobei ein erster Teil des Magnetfeldes eine Magnetfalle benachbart zur Elektrodenoberfläche bildet und ein zweiter Teil des Magnetfeldes sich weg von der Oberfläche erstreckt; c) Mittel für das Vorsehen einer Spannung auf der ersten Elektrode für das Zusammenarbeiten mit dem Magnetfeld zum Ausbilden eines Plasmas im Arbeitsgas; und d) wobei die Mittel für das Erzeugen eines Magnetfelds erste und zweite Ringmagnete mit entgegengesetzten radialen Polaritäten aufweisen, wobei diese koaxial mit den ersten Elektrodenmitteln und axial benachbart zueinander angeordnet sind, wobei einer der ersten und zweiten Ringmagnete eine übermäßige Polstärke relativ zum anderen der Magnete hat.</p> |
