Messteilung und lichtelektrische Positionsmesseinrichtung mit dieser Messteilung

摘要

Die Erfindung definiert eine Messteilung (1) für eine lichtelektrische Positionsmesseinrichtung zur Positionsmessung in einer ersten Richtung (X) und in einer dazu senkrecht verlaufenden zweiten Richtung (Y), die besonders einfach herstellbar ist und mit der eine präzise Positionsmessung ermöglicht wird. Die Messteilung (1) umfasst ein Phasengitter mit einer periodischen Anordnung von Gitterelementen (2) in der ersten Richtung (X) und in der zweiten Richtung (Y). Die Gitterelemente (2) weisen jeweils eine Außenkontur auf, die von einem Linienzug gebildet wird, der zwei einander gegenüberliegende erste gerade Kanten (K1) und zwei senkrecht dazu verlaufende einander gegenüberliegende zweite gerade Kanten (K2) umfasst sowie Verbindungslinien (K3) zwischen jeweils den ersten Kanten (K1) und den zweiten Kanten (K2), welche jeweils einen stumpfen Winkel (α) einschließen.