| 摘要 |
<p>본 발명은 탄소나노튜브 센서의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 탄소나노튜브 센서에 관한 것이다. 본 발명은 기판의 표면을 개질하는 단계(표면처리 단계), 표면 개질된 기판을 열처리하는 단계(베이킹 단계) 및 열처리된 기판 상에 탄소나노튜브를 흡착시키는 단계(흡착 단계)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 탄소나노튜브와 기판 사이의 결합력이 향상되기 때문에 반복적으로 사용하더라도 센서의 성능이 열화되지 않아 수명이 길고 안정성이 높다.</p> |
