一种掩膜装置及其组装方法

摘要

本发明提供一种掩膜装置及其组装方法，该掩膜装置包括框架以及设置在所述框架上的掩膜板，所述框架包括：叠加固定的第一框架和第二框架，所述第一框架采用形状记忆合金制成，所述第二框架采用热膨胀系数小于预定值的金属材料制成，所述掩膜板焊接在所述第一框架上。本发明的掩膜装置，利用具有形状记忆功能的形状记忆合金作为焊接掩膜板的框架，在焊接组装掩膜板的过程中，只需始终对形状记忆合金框架施加恒定的对抗力即可。当掩膜板焊接组装完成后，撤掉对抗力并对形状记忆合金框架进行加热，即可使形状记忆合金框架恢复到变形前的形状。极大的简化了掩膜装置的组装过程，更提高了掩膜板的质量。

主权项

一种掩膜装置，包括框架以及设置在所述框架上的掩膜板，其特征在于，所述框架包括：叠加固定的第一框架和第二框架，所述第一框架采用形状记忆合金制成，所述第二框架采用热膨胀系数小于预定值的金属材料制成，所述掩膜板焊接在所述第一框架上。