发明名称 具有RFID识别块的晶圆承盘
摘要 本实用新型公开了一种具有RFID识别块的晶圆承盘,包括:一承盘本体,该承盘本体具有多个承载槽及至少一识别块槽,各该承载槽是成形于该承盘本体的一端;各该识别块槽是开设于该承盘本体的周围;至少一识别块,各该识别块是分别崁入各该识别块槽;以及 至少一RFID晶片,各该RFID晶片是分别固定结合于各该识别块。主要是藉由将RFID晶片固定结合于识别块,又将识别块崁入承盘本体的识别块槽,藉此使RFID晶片能随着承盘本体移动,进而达成累计承盘本体使用次数的目的;更甚者,由于识别块是可与识别块槽分离,是以当承盘本体损坏时,多个识别块及固定结合于识别块上的多个RFID晶片是可取下重复使用,进而降低所付出的成本。
申请公布号 CN204257616U 申请公布日期 2015.04.08
申请号 CN201420746189.4 申请日期 2014.12.02
申请人 晨州塑胶工业股份有限公司 发明人 罗郁南
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/687(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 丁纪铁
主权项 一种具有RFID识别块的晶圆承盘,其特征在于:包括:一承盘本体,该承盘本体具有多个承载槽及至少一识别块槽,各该承载槽是成形于该承盘本体的一端;各该识别块槽是开设于该承盘本体的周围;至少一识别块,各该识别块是分别崁入各该识别块槽;以及至少一RFID晶片,各该RFID晶片是分别固定结合于各该识别块。
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