发明名称 |
具有RFID识别块的晶圆承盘 |
摘要 |
本实用新型公开了一种具有RFID识别块的晶圆承盘,包括:一承盘本体,该承盘本体具有多个承载槽及至少一识别块槽,各该承载槽是成形于该承盘本体的一端;各该识别块槽是开设于该承盘本体的周围;至少一识别块,各该识别块是分别崁入各该识别块槽;以及 至少一RFID晶片,各该RFID晶片是分别固定结合于各该识别块。主要是藉由将RFID晶片固定结合于识别块,又将识别块崁入承盘本体的识别块槽,藉此使RFID晶片能随着承盘本体移动,进而达成累计承盘本体使用次数的目的;更甚者,由于识别块是可与识别块槽分离,是以当承盘本体损坏时,多个识别块及固定结合于识别块上的多个RFID晶片是可取下重复使用,进而降低所付出的成本。 |
申请公布号 |
CN204257616U |
申请公布日期 |
2015.04.08 |
申请号 |
CN201420746189.4 |
申请日期 |
2014.12.02 |
申请人 |
晨州塑胶工业股份有限公司 |
发明人 |
罗郁南 |
分类号 |
H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/687(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
丁纪铁 |
主权项 |
一种具有RFID识别块的晶圆承盘,其特征在于:包括:一承盘本体,该承盘本体具有多个承载槽及至少一识别块槽,各该承载槽是成形于该承盘本体的一端;各该识别块槽是开设于该承盘本体的周围;至少一识别块,各该识别块是分别崁入各该识别块槽;以及至少一RFID晶片,各该RFID晶片是分别固定结合于各该识别块。 |
地址 |
台中市大雅区前村东路45巷8号 |