| 摘要 |
오목면을 갖는 오목형 기판과 가요성을 갖는 박형 기판을 접착제를 통해 양호한 정밀도로 접합시킬 수 있는 기판 접합 장치를 제공한다. 중심 블록(41)과 그 양옆의 분리 블록(42)을 구비하고, 분리 블록(42)은, 오목형 기판(20)의 측변부(20b)가 갖는 오목면(20a)의 부분과 대략 동일 형상인 압박 곡면(42a)을 상기 측변부(20b)측에 갖는다. 그리고, 분리 블록(42)은, 중심 블록(41)에 치우친 제1 위치(A)와, 오목형 기판(20)의 측변부(20b)에 박형 기판(21)을 개재하여 접촉하는 제2 위치(B) 사이를 이동한다. 분리 블록(42)이 제1 위치(A)로 이동하면, 중심 블록(41)과 분리 블록(42)은 오목형 기판(20)의 오목면 공간(20c)보다 작게 축소되고, 분리 블록(42)이 제2 위치(B)로 이동하면, 중심 블록(41)과 분리 블록(42)의 오목형 기판(20)의 오목면(20a)을 따를 때까지 확대된다. |
