圆锥形顶部的空心微针阵列制备方法

摘要

一种微针制备领域的圆锥形顶部的空心微针阵列制备方法，以不同光敏剂浓度的光刻胶混合后制备单个或多个光敏剂浓度的系列光刻胶，只要在应用时满足上层光刻胶光敏性高于下层光刻胶，利用两者在曝光剂量上的差异，通过精确控制曝光剂量上层光刻胶曝光将不会对下层结构产生影响，因而复杂微针结构能够通过多次曝光一次显影获得。本发明提出的空心微针制备工艺不仅制备得到的微针结构好，工艺简单，而且微针通道在制备后通过激光打孔来实现也进一步确保空心微针阵列整体质量，具有广泛的适用性。沉积parylene等生物相容性薄膜不仅简便易行，而且从整体上提高了生物相容性；空心微针阵列与微流控芯片集成构成的微流体系统在经皮诊疗领域具有广泛的应用。

主权项

一种圆锥形顶部的空心微针阵列制备方法，其特征在于，以两种不同型号的光刻胶混合后制备单个或依次制备多个改性的光敏性不同的中间光刻层，根据上层光刻胶的光敏性高于下层的设计原则通过多次曝光一次显影制备复杂微针结构，最后经激光打孔制成。