| 发明名称 | 靶材及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种靶材，其中，原子比的组成式表示为(Fe<sub>X</sub>-Co<sub>100-X</sub>)<sub>100-Y</sub>-M<sub>Y</sub>(M表示选自Ta和Nb中的至少一种元素，X、Y分别满足0≤X≤80、10≤Y≤30)，包含由不可避免的杂质构成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变为0.33％以上。 | ||
| 申请公布号 | CN104508173A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201380039352.1 | 申请日期 | 2013.07.18 |
| 申请人 | 日立金属株式会社 | 发明人 | 坂卷功一;福冈淳;畠知之;齐藤和也 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B22F3/00(2006.01)I;B22F3/14(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;C22C19/07(2006.01)I;C22C33/02(2006.01)I;C22C38/00(2006.01)I;G11B5/851(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种靶材，其中，原子比的组成式表示为(Fe<sub>X</sub>‑Co<sub>100‑X</sub>)<sub>100‑Y</sub>‑M<sub>Y</sub>，包含由不可避免的杂质构成的余量，并且300℃下的断裂弯曲应变为0.33％以上，所述组成式中，M表示选自Ta和Nb中的至少一种元素，X、Y分别满足0≤X≤80、10≤Y≤30。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||