一种新型大面积混合型加热板加热系统

摘要

一种新型大面积混合型加热板加热系统，包含无氧铜加热板、双通道热油加热装置、点状电阻丝加热装置，温度控制装置、油循环装置，其特征在于：所述双通道热油加热装置包含油加热热油桶装置、流量控制装置、热板中双通道开槽沟油加热装置；其中热板中双通道开槽沟油加热装置埋在无氧铜加热板中，槽两端分别与油循环装置的外循环油管道相连接，再外循环油管道上安装有流量控制装置和油桶；点状电阻丝加热装置是四方状的点状电阻丝；双通道热油加热装置与点状电阻丝加热装置并列交替排布于无氧铜加热板内部，双通道热油加热装置进出端与油循环装置相连接，温度控制装置中的热电偶测温装置安装于无氧铜加热板下表面，实现大面积基板的加热温度不均匀性为±1℃。

主权项

一种新型大面积混合型加热板加热系统，该系统包含无氧铜加热板、双通道热油加热装置、点状电阻丝加热装置，温度控制装置、油循环装置，其特征在于：所述双通道热油加热装置包含油加热热油桶装置、流量控制装置、热板中双通道开槽沟油加热装置；其中热板中双通道开槽沟油加热装置埋在无氧铜加热板中，槽两端分别与油循环装置的外循环油管道相连接，再外循环油管道上安装有流量控制装置和油桶；其中点状电阻丝加热装置为尺寸为50mmx50mm四方块电加热丝，该装置由至少多个分布在热板中，双通道热油加热装置与点状电阻丝加热装置并列交替排布，并且排布安装与无氧铜加热板内部，双通道热油加热装置进出端与油循环装置相连接，温度控制装置中的热电偶测温装置安装于无氧铜加热板下表面，用于事实测量其无氧铜加热板温度；所述温度控制装置包含热电偶测温装置、红外测温仪、PID模式控温装置、温度控制计算模块。