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发明名称
Verfahren zum Herstellen eines Fuehrungskanals in einem Kontaktierungswerkzeug
摘要
申请公布号
DE1230914(B)
申请公布日期
1966.12.22
申请号
DE1963S088072
申请日期
1963.10.29
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
PAMMER DR. ERICH
分类号
H01L21/00;H01L21/60
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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