高真空度旋转密封机构

摘要

本发明公开了高真空度旋转密封机构，包括：密封套筒，该密封套筒的筒底开有第一穿孔，该第一穿孔的轴线方向与密封套筒的轴线方向平行；压头，该压头内开有贯穿该压头的第二穿孔；旋转件，穿接并枢装于第一穿孔和第二穿孔；至少一个第一软密封圈，密封套装于旋转件且位于密封套筒内；至少一个硬质的压环，各压环均密封套装于旋转件，每个压环位于各自对应的第一软密封圈靠近密封套筒筒口的一侧；紧固件，压头通过该紧固件以可拆卸的方式固定于密封套筒的筒口，且该紧固件用于驱动压头在伸入密封套筒内抵顶压环和远离密封套筒脱离压环的位置间切换。本发明能在旋转件旋转的情况下，在真空腔内能保持较高的真空度，实现良好的动密封效果。

主权项

高真空度旋转密封机构，其特征在于，包括：密封套筒，该密封套筒的筒底开有第一穿孔，该第一穿孔的轴线方向与密封套筒的轴线方向平行；压头，该压头内开有贯穿该压头的第二穿孔；旋转件，该旋转件穿接并枢装于第一穿孔和第二穿孔，第二穿孔与旋转件之间形成真空腔；至少一个第一软密封圈，各第一软密封圈密封套装于旋转件且位于密封套筒内；至少一个硬质的压环，各压环均密封套装于旋转件，每个压环对应配置一个第一软密封圈，每个压环位于各自对应的第一软密封圈靠近密封套筒筒口的一侧；紧固件，压头通过该紧固件以可拆卸的方式固定于密封套筒的筒口，且该紧固件用于驱动压头在伸入密封套筒内抵顶压环和远离密封套筒脱离压环的位置间切换。