| 发明名称 | 可变间距四点探针装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种连续可变间距探针装置，其包含第一探针及第二探针。所述第一探针及所述第二探针经配置以测量导电层的性质。在第一配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第一部分。在第二配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第二部分。每一相应第一部分的第一区域不同于每一相应第二部分的第二区域。 | ||
| 申请公布号 | CN104508502A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201380031788.6 | 申请日期 | 2013.05.07 |
| 申请人 | 科磊股份有限公司 | 发明人 | 沃尔特·H·约翰逊;建瓯·石;董兰生;彭海鲸;刘相华;金凯文（家洲）;张卓贤;朱南昌 |
| 分类号 | G01R27/02(2006.01)I;G01R1/073(2006.01)I | 主分类号 | G01R27/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 张世俊 |
| 主权项 | 一种连续可变间距探针装置，其包括：第一探针；以及，第二探针，其中：所述第一探针及所述第二探针经配置以测量导电层的性质；在第一配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第一部分；在第二配置中，所述第一探针及所述第二探针包含经布置以接触所述导电层以测量所述性质的相应第二部分；且，每一相应第一部分的第一区域不同于每一相应第二部分的第二区域。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||