| 摘要 |
기판 처리 시스템은 기판을 저장하고 운송하기 위한 최소 1개의 기판 컨테이너를 잡기 위해 구성된 로드 포트 모듈; 기판 처리 챔버; 기판 처리 챔버와 로드 포트 모듈을 결합하도록 구성되고, 격리된 공기를 유지할 수 있는 분리 가능한 이송 챔버; 이송 챔버로 고정된 구동부와 최소 1개의 기판을 유지하기 위해 구성된 SCARA 암을 가지고 있는 이송 챔버 내에 최소 일부가 실장된 기판 이송부, 상기 SCARA 암은 최소 1개의 기판 컨테이너와 최소 1개 기판에 1회 터치 기능을 가진 처리 챔버 사이에 최소 1개 기판을 운송하기 위해 구성되고, SCARA 암은 제1 암 링크, 제2 암 링크, 제1 암 링크와 제2 암 링크가 동일한 길이를 가지고 있지 않아서, 연속으로 서로에 선회 결합되는 적어도 1개의 끝 작동체를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
