一种多波段太赫兹滤波器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种多波段太赫兹滤波器，所述太赫兹滤波器包括由下至上依次设置的衬底和金属膜层；所述金属膜层上刻蚀有周期性结构，所述周期性结构为n个同心圆环，n为太赫兹滤波器的波段数；所述n个同心圆环宽度由圆心至外依次增大。本发明还公开了所述多波段太赫兹滤波器的制作方法。本发明提供的多波段太赫兹滤波器增加了通带数，具有良好的中间通带的带外抑制性能，偏振不敏感和宽接收角；实现了滤波器的滤波频段和波段数可控；制作方法简单易操作，其分步工艺均为半导体领域的常规操作，易于大规模和集成化生产。

主权项

一种多波段太赫兹滤波器，其特征在于，所述太赫兹滤波器包括由下至上依次设置的衬底和金属膜层；所述金属膜层上刻蚀有周期性结构，所述周期性结构为n个同心圆环，n为太赫兹滤波器的波段数；所述n个同心圆环宽度由圆心至外依次增大。