旋转基板支撑件及其使用方法

摘要

本发明揭示一种利用旋转基板支撑件处理一基板的方法及设备。于一实施例中，用于处理基板的设备包括一处理室，其中设有一基板支撑组件。该基板支撑组件包括一基板支撑件，该基板支撑件具有一支撑表面及一加热器，该加热器设于支撑表面下方。一轴部耦接至该基板支撑件，且马达经由一转子(rotor)耦接至该轴部，以使基板支撑件转动。密封块则设于该转子周围并与的形成密封。密封块具有至少一密封件及至少一通道，沿该密封块与该轴部间的接口处设置。各通道耦接有端口以连接至泵。升举机构耦接至该轴部以提升与下降基板支撑件。

主权项

一种用于处理基板的设备，包括：基板处理室；基板支撑件，该基板支撑件设置于该基板处理室中，其中该基板支撑件耦合至轴部；加热器，该加热器设置于该基板支撑件的支撑表面之下；第一马达，该第一马达提升与下降该轴部和基板支撑件；以及第二马达，该第二马达向该轴部和基板支撑件提供旋转运动，其中该第一马达耦合至框架，该框架罩住该第二马达，该第二马达通过转子耦合至该轴部，以及包含多个密封件的密封块置于该转子周围。