发明名称 |
一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种基于铂分离层的多层膜反射镜及其制造方法,在超光滑的玻璃母板上镀制Pt分离层,再镀制X射线多层膜,然后均匀喷涂液态环氧树脂,在真空环境下将超薄的铝片基底压在上面,环氧树脂高温固化后,铝片基底、固化的环氧树脂、X射线多层膜以及Pt分离层作为整体与玻璃母板自动分离即可。本发明加入了3-10纳米厚的Pt分离层,克服了传统复制工艺中由于分离困难而只能制备Au或Pt单层金属膜镜以及Pt/C周期膜镜的不足,使常用的X射线多层膜材料都可用于超薄超光滑反射镜的复制,厚度3-10纳米的Pt分离层对硬X射线的吸收很小,因此Pt分离层的加入几乎不影响反射镜的光学性能。 |
申请公布号 |
CN102682867B |
申请公布日期 |
2015.04.08 |
申请号 |
CN201110053529.6 |
申请日期 |
2011.03.07 |
申请人 |
同济大学 |
发明人 |
穆宝忠;王占山;王芳芳;杨夏军;金慧俊 |
分类号 |
G21K1/06(2006.01)I;G21K1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G21K1/06(2006.01)I |
代理机构 |
上海科盛知识产权代理有限公司 31225 |
代理人 |
林君如 |
主权项 |
一种基于铂分离层的多层膜反射镜,其特征在于,该反射镜由铂分离层(2)、X射线多层膜(3)、环氧树脂层(4)及铝片基底(5)构成;所述的铂分离层(2)的厚度为3‑10纳米,所述的X射线多层膜(3)镀制在铂分离层(2)上,所述的环氧树脂层(4)喷涂在X射线多层膜(3)上,厚度为10‑30微米,所述的铝片基底(5)粘压在环氧树脂层(4),厚度为100‑500微米。 |
地址 |
200092 上海市杨浦区四平路1239号 |