| 发明名称 | 光阻解凝机 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光阻解凝机，所述光阻解凝机包括：一机台；一转动构件，设置于所述机台上，所述转动构件用于带动光阻容器转动，其中，所述光阻容器装有光阻材料；至少一传动构件，与所述转动构件连接；一电动机，设置于所述机台上，所述电动机与至少一所述传动构件连接，用于通过所述传动构件带动所述转动构件转动。 | ||
| 申请公布号 | CN104492324A | 申请公布日期 | 2015.04.08 |
| 申请号 | CN201410735017.1 | 申请日期 | 2014.12.05 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 徐彬;方仲贤;徐涛 |
| 分类号 | B01F9/00(2006.01)I | 主分类号 | B01F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人 | 黄威 |
| 主权项 | 一种光阻解凝机，其特征在于，所述光阻解凝机包括：一机台；一转动构件，设置于所述机台上，所述转动构件用于带动光阻容器转动，其中，所述光阻容器装有光阻材料；至少一传动构件，与所述转动构件连接；一电动机，设置于所述机台上，所述电动机与至少一所述传动构件连接，用于通过所述传动构件带动所述转动构件转动。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||