DISCHARGE LAMP, LIGHT SOURCE APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS MANUFACTURING METHOD

摘要

부착기구에 대한 방전램프의 장착 등을 용이하게 단시간에 실시할 수 있는 광원장치이다. 발광부를 형성하는 유리관(25)과 이것에 연결된 베이스부(26)를 가지는 방전램프(1)와, 베이스부(26)를 통하여 방전램프(1)를 유지하는 부착장치(31)를 구비한 광원장치로서, 베이스부(26)는 부착장치(31)의 위치결정판(5O)과 맞닿는 플랜지부(26a)와, 플랜지부(26a)를 위치결정판(5O)으로 가압하는 가압력이 밀어 붙여지는 고정부(26h)를 가지며, 부착장치(31)는 압축코일스프링(44A)에 의해서 고정부(26h)를 밀어 붙이는 고정용 암(55A)을 가진다.