发明名称 LASER DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE AND INSPECTION DEVICE EQUIPPED WITH SAID LASER DEVICE
摘要 레이저 장치는, 제 1 파장의 레이저광을 발생하는 제 1 광원과 제 2 파장의 레이저광을 발생하는 제 2 광원을 갖는 레이저광 발생부 (1) 와, 제 1 파장 및 제 2 파장의 레이저광을 각각 증폭하여 제 1 증폭광과 제 2 증폭광을 출력하는 증폭부와, 제 1 증폭광을 제 1 변환광으로 파장 변환하고, 제 1 변환광과 제 2 증폭광으로부터 파장 변환에 의해 출력광을 발생시키거나, 또는 제 1 증폭광과 제 2 증폭광을 각각 제 1 변환광과 제 2 변환광으로 파장 변환하고, 제 1 변환광과 제 2 변환광으로부터 파장 변환에 의해 출력광을 발생시키는 파장 변환부와, 레이저광 발생부의 작동을 제어하는 제어부를 구비하고, 제어부는, 제 1 광원으로부터의 레이저광의 출력과 제 2 광원으로부터의 레이저광의 출력의 상대적인 타이밍을 제어함으로써, 파장 변환부에 있어서의 출력광의 발생 위치에 있어서, 제 1 변환광과 제 2 증폭광의 시간적인 중첩, 또는 제 1 변환광과 제 2 변환광의 시간적인 중첩을 조절하여, 출력광의 출력 상태를 제어하도록 구성된다.
申请公布号 KR20150038516(A) 申请公布日期 2015.04.08
申请号 KR20157005321 申请日期 2013.07.31
申请人 가부시키가이샤 니콘 发明人 도쿠히사 아키라
分类号 H01L21/027;H01S3/067;H01S3/10;H01S3/16;H01S5/00;H01S5/0683;H01S5/40 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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