发明名称 半導体装置及びその製造方法
摘要
申请公布号 JP5696367(B2) 申请公布日期 2015.04.08
申请号 JP20100076592 申请日期 2010.03.30
申请人 发明人
分类号 H01L25/065;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/522;H01L25/07;H01L25/18 主分类号 H01L25/065
代理机构 代理人
主权项
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