金刚石复合片专用研抛液及其制备方法

摘要

金刚石复合片专用研抛液及其制备方法，属于精密超精密研抛领域。针对普通抛光液不能满足金刚石复合片等超硬材料超精密镜面加工而开发的一种专用研抛液。研抛液是通过磨料、溶剂和添加剂按一定的体积比：5％的光亮剂、5％的金刚石微粉、10％的凡士林、20％的混合脂、60％的煤油配制而成；该研抛液加工后的金刚石复合片工件表面质量均匀，无研抛缺陷，可达镜面抛光效果。同时，该研抛液还可以在加工过程中起到冷却、润滑，吸附和清洗的作用，也可以用于类似超硬材料的镜面研抛加工，操作简单，效率高，成本低，无污染。

主权项

一种金刚石复合片专用研抛液，其特征在于：该研抛液由磨料、溶剂、添加剂三部分组成；磨料由粒径为0.5～1.5μm的金刚石微粉，溶剂为煤油；研抛液是通过磨料、溶剂和添加剂按一定的体积比：5％的光亮剂、5％的磨料、10％凡士林、20％的混合脂、60％的煤油配制而成；其中研抛液添加剂的各成分百分比为，添加剂是由30％凡士林、30％硬脂酸颗粒、20％植物油、20％锭子油。