一种太赫兹成像系统的探测装置

摘要

本发明公开了一种太赫兹成像系统的探测装置。该太赫兹成像系统的探测装置的像素单元是一种H面扇形喇叭天线阵列，天线阵列的基本单元是一种喇叭天线，这种喇叭天线是由矩形波导馈线和与之制成一体的截面由矩形波导的H平面(即波导的宽边)逐渐展开而成的波导喇叭体两部分组成，波导喇叭体由矩形波导沿宽边逐渐展开而成，是一个金属做的空心角锥型喇叭，矩形波导馈线由空心的矩形金属管构成。矩形波导馈线用于传输像素单元接收的THz信号；波导喇叭体用于接收THz信号。本发明给出的探测装置可以应用于工作在太赫兹波段的成像系统。

主权项

一种太赫兹成像系统的探测装置，其是用微机电系统工艺制备的可单片集成的太赫兹成像系统的探测装置，该太赫兹成像系统的探测装置的像素单元由H面扇形喇叭天线阵列组成，天线阵列的基本单元是一种喇叭天线，这种喇叭天线是由波导喇叭体和与之制成一体的矩形波导馈线两部分组成，所述矩形波导馈线用于传输接收的太赫兹信号，波导喇叭体用于接收太赫兹信号，其中波导喇叭体由矩形波导沿宽边逐渐展开而成，而波导的窄边长度则保持不变，是一个金属做的空心角锥型喇叭，其特征在于该波导喇叭体利用微机电系统工艺的FIB纳米尺度应力引入技术调整金属片的形状生成。