激光器温度稳定控制系统

摘要

本发明公开了一种激光器温度稳定控制系统，包括位于激光器的放电腔腔体内部的放电区出气口处的第一温度传感器、位于放电腔腔体内部的放电区进气口处的第二温度传感器、位于腔体内壁的第三温度传感器、位于热交换系统和腔体冷却系统的出水管道内的第四温度传感器和第五温度传感器。第一至第五传感器分别用于检测放电腔内放电区出气口、放电腔内放电区进气口、放电腔腔体、各出水管道内的冷却水的温度，且均通过线路与ADRC连接，以将温度传感器检测的温度信号传送给ADRC。ADRC根据各温度信号来控制热交换系统、腔体冷却系统的进水管道上的流量调节阀，以及控制所述电加热器，从而实现对激光器的温度控制。本发明可以提高准分子气体激光器系统的温度稳定性。

主权项

一种激光器温度稳定控制系统，用于对激光器的工作温度进行控制，所述激光器包括放电腔，所述放电腔内容纳有工作气体，工作气体在放电区放电时会产生热量，所述激光器温度稳定控制系统包括热交换系统和冷却系统，所述热交换系统用于吸收放电腔内的热量，并通过进水管道从冷却系统输入冷却水，通过出水管道向冷却系统输出被加热的水，从而将热量排出放电腔外；所述冷却系统用于将由热交换系统的出水管道输出的被加热的水进行冷却，并将冷却水输出到热交换系统的进水管道，以向热交换系统循环输入冷却水，其特征在于：在所述热交换系统的进水管道上还安装有流量调节阀门，所述激光器温度稳定控制系统还包括第一温度传感器、第二温度传感器、腔体冷却系统、电加热器和ADRC，其中：所述第一温度传感器安装于所述放电腔内部的放电区出气口处，用于检测该放电腔内的放电区出气口处的温度并将温度信号发送给所述ADRC；所述第二温度传感器设置在所述放电腔内的放电区进气口处，用于检测该放电腔内放电区进气口的工作气体温度，并将温度信号传递给ADRC；所述腔体冷却系统安装于所述放电腔的外围，用于降低放电腔的腔体温度，并且，该腔体冷却系统也通过进水管道和出水管道从冷却系统中接收冷却水，排放经加热的水，在该腔体冷却系统的进水管道上也设置有流量调节阀门；所述电加热器用于在所述激光器启动之前或激光器短暂停顿时对放电腔进行加热，并且，该电加热器加热的最高温度不超过45℃，由ADRC控制，以调节放电腔的腔体温度；所述ADRC用于接收所述第一温度传感器和第二温度传感器所检测的温度信号并据此对所述热交换系统和腔体冷却系统的流量调节阀门进行控制，以分别调节输入到热交换系统和腔体冷却系统的冷却水流量，以及控制所述电加热器，从而实现对激光器的温度控制。